1. Ŝargado
Metu la kovritan kvarcan fandujon sur la varmointerŝanĝan tablon, aldonu silician krudmaterialon, poste instalu hejti ekipaĵon, izolajn ekipaĵojn kaj fornan kovrilon, evakuu la fornon por redukti la premon en la forno al 0.05-0.1mbar kaj konservi vakuon. Enkonduku argonon kiel protektan gason por konservi la premon en la forno esence je ĉirkaŭ 400-600mbar.
2. Hejtado
Uzu grafitan hejtilon por varmigi la korpon de la forno, unue vaporigu la humidon adsorbitan sur la surfaco de grafitaj partoj, izolaj tavoloj, siliciaj krudaĵoj ktp., kaj poste malrapide varmigu por ke la temperaturo de la kvarca fandujo atingu ĉirkaŭ 1200-1300.℃. Ĉi tiu procezo daŭras 4-5 horojn.
3. Fandado
Enkonduku argonon kiel protektan gason por konservi la premon en la forno esence je ĉirkaŭ 400-600mbar. Iom post iom pliigu la hejtpotencon por adapti la temperaturon en la fandujo al ĉirkaŭ 1500℃, kaj la silicia krudaĵo komencas degeli. Konservu ĉirkaŭ 1500℃dum la fandado ĝis la fandado estas finita. Ĉi tiu procezo daŭras ĉirkaŭ 20-22 horojn.
4. Kristala kresko
Post kiam la silicia krudaĵo estas fandita, la hejtpotenco estas reduktita por ke la temperaturo de la fandujo falu al ĉirkaŭ 1420-1440.℃, kiu estas la fandpunkto de silicio. Tiam la kvarca fandujo iom post iom moviĝas malsupren, aŭ la izola aparato iom post iom altiĝas, tiel ke la kvarca fandujo malrapide forlasas la hejtzonon kaj formas varmoŝanĝon kun la ĉirkaŭaĵo; samtempe, akvo estas trapasita tra la malvarmiga plato por redukti la temperaturon de la fandado de la fundo, kaj kristala silicio unue formiĝas ĉe la fundo. Dum la kreskoprocezo, la solid-likva interfaco ĉiam restas paralela al la horizontala ebeno ĝis la kristala kresko estas kompletigita. Ĉi tiu procezo daŭras ĉirkaŭ 20-22 horojn.
5. Kolcigado
Post kiam la kristala kresko estas kompletigita, pro la granda temperaturgradiento inter la fundo kaj la supro de la kristalo, termika streso povas ekzisti en la ingoto, kiu estas facile rompiĝi denove dum la hejtado de la silicia oblato kaj la preparado de la kuirilaro. . Sekve, post kiam la kristala kresko estas kompletigita, la silicia ingoto estas tenita proksime de la fandpunkto dum 2-4 horoj por uniformigi la temperaturon de la silicia ingoto kaj redukti termikan streson.
6. Malvarmigo
Post kiam la silicia ingoto estas kalzita en la forno, malŝaltu la hejtpotencon, levu la varmoizolan aparaton aŭ tute malaltigu la silician ingoton, kaj enkonduku grandan fluon de argona gaso en la fornon por iom post iom redukti la temperaturon de la silicia ingoto ĝis proksima. ĉambra temperaturo; samtempe, la gasa premo en la forno iom post iom altiĝas ĝis ĝi atingas atmosferan premon. Ĉi tiu procezo daŭras ĉirkaŭ 10 horojn.
Afiŝtempo: Sep-20-2024
